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日本超越工业 HPS-1/2-P300P|高纯腐蚀性化学流体压力监测优选传感器

  • 发布日期:2026-07-29      浏览次数:18
    • 厂商:SURPASS INDUSTRY CO.,LTD(サーパス工業株式会社)
       
      原厂地址:日本埼玉县行田市
       
      完整型号:HPS-1/2-P300P
       
      系列归属:HP 系列(无显示屏直型耐腐蚀压力传感器)
      HPS系列传感器外观
       

      一、型号编码释义

      • HPS:HP 系列、无数字显示型压力传感器

      • 1/2:适配 Pillar 1/2 英寸 PFA 管道接头(直型ストレート)

      • P:接液材质 PFA+PTFE 氟树脂、防气体渗透结构

      • 300P:量程 0~300kPa(表压)

      二、核心技术参数

      1. 测量规格

         
        • 测量范围:0~300 kPa 表压

        • 耐压:450 kPa(额定压力 150%)

        • 破裂压力:≥800kPa

        • 精度:±1% FS(25℃,线性 + 迟滞)

        • 温度漂移:±0.08% FS/℃

      2. 流体工况

         
        • 适用介质:高纯药液、强酸、强碱、有机溶剂、超纯水、腐蚀性气体

        • 流体温度:15~80℃

        • 环境温度:15~50℃

      3. 电气规格

         
        • 供电:DC 12~24V(±10%)

        • 标准输出:4~20mA 模拟信号

        • 负载电阻:≤500Ω

        • 线缆:标准 2m PTFE 护套电缆

      4. 材质与防护

         
        • 接液部:PFA/PTFE(全氟树脂)

        • 外壳:ABS+PC

        • 防护等级:IP65

        • 认证:CE、RoHS 合规

      5. 结构优势

         
        • 原厂防气体渗透隔膜结构(半导体药液核心卖点,杜绝药液气相渗透造成传感器漂移、失效)

        • 无金属接触流体,杜绝金属离子析出污染高纯流体

        • 小型直装式,低死体积,适合紧凑管路安装

      三、产品核心特点

      1. 全氟树脂接液,广谱耐化学腐蚀

         

        接触介质全部采用 PFA/PTFE,可长期耐受盐酸、硫酸、氢1氟酸、氨水、各类剥离液、显影液、蚀刻液、有机溶剂,适配半导体、湿制程强腐蚀药液。

      2. 气体渗透对策隔膜(SURPASS 独1有技术)

         

        普通压力传感器隔膜易被药液挥发性气体穿透,造成零点漂移、传感器报废;HP 系列专用阻隔隔膜,抑制气相渗透,大幅延长湿制程使用寿命。

      3. 低析出、洁净等级高

         

        氟树脂材料无塑化剂析出,满足高纯化学品、超纯水、精密电子制造洁净要求,不会污染工艺流体。

      4. 小型一体化直装结构

         

        匹配行业通用 Pillar 1/2 英寸 PFA 管路系统,无需转接配件,减少泄漏点;无显示屏设计,体积更小,适合设备狭小空间布局。

      5. 稳定模拟信号输出

         

        4~20mA 工业标准信号,远距离传输抗干扰,直接对接 PLC、记录仪、压力控制器。

      区分:同系列HPSD为带数显版本;HPS为本款无显示型,侧重设备内置集成。

      四、应用领域与工况分析

      1. 半导体晶圆制造(主力场景)

      • 湿清洗设备、蚀刻机、剥离机、显影设备药液管路压力监测

      • 化学品输送支路压力监控、过滤器压差监测

         

        选型优势:抗氢1氟酸、酸碱药液,低粒子析出,防止药液气相渗透损坏传感器,是日系半导体设备标配传感器。

      2. 光伏 / 锂电湿法制程

      • 制绒酸洗槽、电解液输送管道、清洗纯水回路压力监控

      • 耐腐蚀药液供给系统稳压监测

         

        痛点解决:避免普通不锈钢传感器被腐蚀、金属离子污染电池 / 光伏基材。

      3. 精细化工、制药高纯流体系统

      • 反应釜加料管路、药剂输送、纯化系统、溶剂循环管路压力检测

      • 高纯度原料药输送管线压力闭环控制

      4. PCB 电子制造

      • 蚀刻液、棕化液、微蚀药液循环管路压力监测

      5. 超纯水 DIW 系统

      纯水循环管路、过滤器后端压力监控,适配高洁净纯水工况。

      五、工况选型注意事项(运用风险提示)

      1. 温度上限:流体不可长期超过 80℃,高温药液建议选用 HASP 高温系列(最高 180℃);

      2. 冲击压力:启停泵产生水锤冲击,压力不可持续超过 450kPa,必要前端加装缓冲;

      3. 介质禁忌:熔融碱金属、液氟等强侵蚀介质不适用;

      4. 安装方向:建议隔膜朝下安装,减少气泡滞留影响测量精度;

      5. 定期校准:腐蚀性药液工况建议每 6~12 个月零点校准。

      六、竞品对比简要分析

      表格
      项目 SURPASS HPS-1/2-P300P 普通国产 PTFE 压力传感器 欧美品牌氟树脂传感器
      气体渗透对策隔膜 ✅原厂标配 ❌大多无 部分高1端型号有,价格高
      接液材质 PFA/PTFE 一体 部分 PTFE 粘接结构,易分层 PFA,成本昂贵
      管路适配 日系 Pillar 1/2 标准接头 非标居多 欧美管路标准,转接麻烦
      尺寸体积 小型紧凑,设备内置友好 体积偏大 体积大
      交付 日本埼玉原厂制造 国内生产 欧美长交期

       

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