HPS:HP 系列、无数字显示型压力传感器
1/2:适配 Pillar 1/2 英寸 PFA 管道接头(直型ストレート)
P:接液材质 PFA+PTFE 氟树脂、防气体渗透结构
300P:量程 0~300kPa(表压)
测量规格
测量范围:0~300 kPa 表压
耐压:450 kPa(额定压力 150%)
破裂压力:≥800kPa
精度:±1% FS(25℃,线性 + 迟滞)
温度漂移:±0.08% FS/℃
流体工况
适用介质:高纯药液、强酸、强碱、有机溶剂、超纯水、腐蚀性气体
流体温度:15~80℃
环境温度:15~50℃
电气规格
供电:DC 12~24V(±10%)
标准输出:4~20mA 模拟信号
负载电阻:≤500Ω
线缆:标准 2m PTFE 护套电缆
材质与防护
接液部:PFA/PTFE(全氟树脂)
外壳:ABS+PC
防护等级:IP65
认证:CE、RoHS 合规
结构优势
原厂防气体渗透隔膜结构(半导体药液核心卖点,杜绝药液气相渗透造成传感器漂移、失效)
无金属接触流体,杜绝金属离子析出污染高纯流体
小型直装式,低死体积,适合紧凑管路安装
全氟树脂接液,广谱耐化学腐蚀
接触介质全部采用 PFA/PTFE,可长期耐受盐酸、硫酸、氢1氟酸、氨水、各类剥离液、显影液、蚀刻液、有机溶剂,适配半导体、湿制程强腐蚀药液。
气体渗透对策隔膜(SURPASS 独1有技术)
普通压力传感器隔膜易被药液挥发性气体穿透,造成零点漂移、传感器报废;HP 系列专用阻隔隔膜,抑制气相渗透,大幅延长湿制程使用寿命。
低析出、洁净等级高
氟树脂材料无塑化剂析出,满足高纯化学品、超纯水、精密电子制造洁净要求,不会污染工艺流体。
小型一体化直装结构
匹配行业通用 Pillar 1/2 英寸 PFA 管路系统,无需转接配件,减少泄漏点;无显示屏设计,体积更小,适合设备狭小空间布局。
稳定模拟信号输出
4~20mA 工业标准信号,远距离传输抗干扰,直接对接 PLC、记录仪、压力控制器。
区分:同系列HPSD为带数显版本;HPS为本款无显示型,侧重设备内置集成。
湿清洗设备、蚀刻机、剥离机、显影设备药液管路压力监测
化学品输送支路压力监控、过滤器压差监测
选型优势:抗氢1氟酸、酸碱药液,低粒子析出,防止药液气相渗透损坏传感器,是日系半导体设备标配传感器。
制绒酸洗槽、电解液输送管道、清洗纯水回路压力监控
耐腐蚀药液供给系统稳压监测
痛点解决:避免普通不锈钢传感器被腐蚀、金属离子污染电池 / 光伏基材。
反应釜加料管路、药剂输送、纯化系统、溶剂循环管路压力检测
高纯度原料药输送管线压力闭环控制
蚀刻液、棕化液、微蚀药液循环管路压力监测
温度上限:流体不可长期超过 80℃,高温药液建议选用 HASP 高温系列(最高 180℃);
冲击压力:启停泵产生水锤冲击,压力不可持续超过 450kPa,必要前端加装缓冲;
介质禁忌:熔融碱金属、液氟等强侵蚀介质不适用;
安装方向:建议隔膜朝下安装,减少气泡滞留影响测量精度;
定期校准:腐蚀性药液工况建议每 6~12 个月零点校准。
| 项目 | SURPASS HPS-1/2-P300P | 普通国产 PTFE 压力传感器 | 欧美品牌氟树脂传感器 |
|---|---|---|---|
| 气体渗透对策隔膜 | ✅原厂标配 | ❌大多无 | 部分高1端型号有,价格高 |
| 接液材质 | PFA/PTFE 一体 | 部分 PTFE 粘接结构,易分层 | PFA,成本昂贵 |
| 管路适配 | 日系 Pillar 1/2 标准接头 | 非标居多 | 欧美管路标准,转接麻烦 |
| 尺寸体积 | 小型紧凑,设备内置友好 | 体积偏大 | 体积大 |
| 交付 | 日本埼玉原厂制造 | 国内生产 | 欧美长交期 |