用于导电薄膜制造的溅射设备-台式涂布机

发布日期：2021-05-27      浏览次数：1277

 用于导电薄膜制造的溅射设备-台式涂布机

 

特征


• 直流溅射类别中系列中小的超紧凑机型
• 小型溅射装置，可以轻松地制造电极薄膜
• 标配间歇溅射功能
• 使用的样品台和载物台可以轻松更改TS之间的距离。

应用/结果示例

• 各种设备的电极膜附件
• 用于制造反射薄膜等的应用

基本规格


阴极	φ2英寸/平板型电极
溅射靶	包含金靶
气体导入机制	针阀
间歇功能	标配
真空泵	直连式旋转泵：20l / min（带自动泄漏）
箱体尺寸	内径φ90mmx D90mm（SUS制）
样品交换方法	前门开合式
尺寸（宽/深/高）	主体：160/326 / 286mm RP：300/160 / 200mm
重量	身体：10公斤RP：9公斤

 

SC-701MkⅡ进阶

高规格紧凑型镀膜机，适用于各种金属，例如镍，铬，钨，钛，铝



SC-701AT

只需设置样本并等待。全自动溅射，膜厚可调。



SC-701HMCⅡ

磁控管类型适用于W / Ti / Cr等薄膜生产。微电脑控制/自动快门标准设备。



SC-701MkⅡ

该系列中小的溅射，使电极薄膜的制造变得容易



SC-701MC

使用对样品友好的磁控管阴极。膜厚可控的全自动模型。



SC-708系列

非常适合在大型基板上进行薄膜制造以及PDMS的表面处理