可安装在量产设备中的膜厚检测仪AFW-100W

发布日期：2021-10-25      浏览次数：867

可安装在量产设备中的膜厚检测仪AFW-100W



推荐使用反射光谱膜厚计用于膜厚测量应用，例如硬涂层。

[机理] 

当样品受到光照射时，它会根据膜厚显示出*的光谱。薄膜表面反射的光与穿过薄膜并在基板表面反射的光相互干扰。当光的相位匹配时，强度增加，而当光相移时，强度降低。反射计是一种通过分析该光谱来测量薄膜厚度的方法。

[优点] 

-与 SEM 和触针式轮廓仪不同，无需接触即可进行测量。
- 与椭偏仪相比，便宜且易于使用。

将来也可以安装在量产设备中。

模型	AFW-100W
用	对于一般膜厚
设备配置	单元主体、测量台、2 分支光纤 (1.5m)、PC
测量波长范围	380-1050nm
膜厚测量范围	100nm～1μm（曲线拟合法）
	1 μm 至 60 μm (FFT)
测量再现性	0.2%-1%（视胶片质量而定）
测量光斑直径	约7mm
光源	12V-50W卤素灯
测量理论	曲线拟合法/FFT法
外形尺寸 (mm)	测量台：W150 x D150 x H115
	机身：W230 x D230 x H135
大约重量	5.5kg * 不包括 PC
公用事业	AC100V 50 / 60Hz
轰天猛将	卤素灯