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从Si晶圆到玻璃基板:YP-150I/250I的跨行业检测适配性

  • 发布日期:2025-07-23      浏览次数:31
    • 山田光学的YP-150I和YP-250I高亮度卤素检查灯凭借400,000 Lux超高照度、3400K色温白光及冷镜技术,在半导体、液晶面板、光学元件等多个行业的高精度检测中占据重要地位。以下是其跨行业适配性的深度解析:

      1. 半导体行业:Si晶圆与化合物半导体的高精度检测

      (1)Si晶圆(6英寸/8英寸)

      • YP-150I:30mmφ光斑适配6英寸晶圆,可检测0.2 μm级划痕、抛光不均及CMP工艺残留。

      • YP-250I:60mmφ光斑覆盖8英寸晶圆,适合大尺寸晶圆的整面扫描,提升检测效率。

      • 冷镜技术:减少热辐射,避免晶圆受热翘曲(尤其对薄化晶圆至关重要)。

      (2)化合物半导体(SiC/GaAs)

      • SiC晶圆:YP-150I的高对比度照明可识别表面微裂纹,避免因硬脆材料加工导致的隐形缺陷。

      • GaAs晶圆:3400K色温减少荧光干扰,精准检测外延层生长不均问题。

      2. 液晶面板行业:玻璃基板与OLED的缺陷控制

      (1)LCD玻璃基板

      • ITO镀层检测:YP-250I的60mm光斑均匀照射,识别镀层气泡、划痕,避免Mura(亮度不均)问题9。

      • 偏光片贴合检查:400,000 Lux照度穿透高反射层,发现贴合偏移或异物。

      (2)OLED/柔性屏

      • 热敏感材料适配:冷镜技术使热辐射降低至传统铝镜的1/3,避免柔性基板受热变形。

      • AMOLED像素检测:YP-150I的30mm光斑精准定位微米级暗点,提升良率。

      3. 光学元件与精密制造:从透镜到金属加工

      (1)光学镜片/棱镜

      • 镀膜缺陷检测:YP-150I识别AR镀膜的纳米级针孔,避免光学畸变。

      • 应力分析辅助:结合偏振光检测设备(如StrainViewerSV200),YP-250I提供均匀照明,辅助内应力分布测量。

      (2)金属/陶瓷部件

      • 精密机加工件:检测毛刺、微裂纹(如汽车发动机部件),YP-250I的宽光斑适配曲面检测。

      • 3D打印件:YP-150I的高对比度光路凸显层纹缺陷,优化后处理工艺。

      4. 跨行业核心优势总结

      行业适配型号关键应用技术优势
      半导体YP-150ISi/GaAs晶圆微缺陷检测0.2 μm分辨率,冷镜防热变形
      液晶面板YP-250IITO镀层、偏光片检测60mm均匀光斑,减少Mura漏检
      光学元件YP-150I镀膜针孔、透镜划痕30mm高密度点光源,纳米级灵敏度
      精密制造YP-250I金属/陶瓷表面裂纹宽光斑适配曲面,350W高功率照明

      5. 选型建议:行业导向决策

      • 小尺寸高精度(<50mm):选YP-150I(如6英寸晶圆、手机屏)。

      • 大尺寸均匀性(>50mm):选YP-250I(如8英寸晶圆、TV面板)。

      • 热敏感环境:优先YP系列(冷镜技术),替代传统金属卤素灯。

      未来趋势:尽管LED光源在寿命(30,000小时)上占优,但YP系列的3400K全光谱与400,000 Lux照度仍是高精度检测的黄金标准,尤其在跨行业兼容性上不可替代。


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