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品牌：日本 Motoyama（本山）SXN 系列软 X 射线静电消除离子发生器，属于光电离式除静电设备，面向超高洁净无尘室，用于半导体、显示面板精密制程 ESD 防护モトヤマ。
不需要压缩空气、风扇吹气；离子直接在被除静电物体周边生成，无气流扰动产品。
区别传统电晕放电离子风机：无放电针、无高压火花、不产生金属粉尘、零臭氧。
| 项目 | SXN‑10V | SXN‑102V | SXN‑104V |
|---|---|---|---|
| 控制器 | SXC‑10T | SXC‑102T | SXC‑104T |
| 照射头 | SXH‑10V ×1 台 | SXH‑10V ×2 台 | SXH‑10V ×4 台 |
| 输入电源 | AC100‑240V 50/60Hz | AC100‑240V 50/60Hz | AC100‑240V 50/60Hz |
| 整机功耗 | 23W | 40W | 50W |
| 单照射头重量 | 0.29kg | 0.29kg | 0.29kg |
| 控制器重量 | 0.52kg | 1.14kg | 1.64kg |
| 冷却方式 | 自然冷却 | 自然冷却 | 自然冷却 |
| 离子发生方式 | 软 X 射线照射 | 软 X 射线照射 | 软 X 射线照射 |
说明：三个型号照射头本体一致，差异仅为控制器可驱动照射头数量；单头照射角度 150°，可多照射头组合覆盖大面积工位。
离子平衡 ±0V
软 X 射线光电离天然生成等量正负离子，不会出现传统电晕机的离子漂移、反向充电损伤器件，对高灵敏芯片、OLED 薄膜友好。
超高洁净，无二次污染
无放电电极，不会析出金属微粒；无臭氧生成，适配 Class1 级无尘室，杜绝颗粒吸附造成的产品不良。
无气流干扰
不依靠风机 / 压缩空气输送离子，不会吹动超薄薄膜、晶圆、薄片工件，适合真空腔体、小型机台内部狭小空间安装。
高速除静电
±1000V 衰减至 ±100V，近距离 0.5s 即可完成中和；距离增加除静电时间随之变长，最大有效工作距离约 1400mm。
低维护设计
无电极清洁、无针体更换；仅软 X 射线管有使用寿命，设备自带计时，寿命临近自动报警提示更换 X 射线管，具备报警信号外部输出接口，可对接产线 PLCモトヤマ。
可在惰性气体环境工作
氮气、氩气氛围腔体内部同样可实现除静电，适配半导体腔体工艺。
SXN‑10V（单头）
适合单点、小范围工位：晶圆载台、探针台、小型模组组装、机台内部狭小腔室；单点局部除静电，安装灵活，体积小巧。
SXN‑102V（双头）
适合中等面积区域：基板搬运、中小型 OLED 玻璃、物料传送轨道；双照射头可并排 / 错位布置，扩大除静电覆盖范围。
SXN‑104V（四头）
适合大面积产线：大尺寸 LCD/OLED 基板、多工位同步除静电；一台控制器集中管控 4 个照射头，减少控制器数量，降低布线与设备占用空间。
选型关键点：照射头性能一样，优先看需要覆盖的除静电区域面积；可以单控制器多头部署，简化产线控制。
半导体制造：晶圆光刻、蚀刻、离子注入、封装测试，防止 ESD 击穿芯片，避免微粒吸附晶圆表面造成缺陷滨松光子学...。
显示行业 LCD/OLED：玻璃基板搬运、偏光片贴合、柔性膜加工，薄膜不会被气流扰动，消除静电吸附灰尘造成亮点不良。
精密电子：光学膜、FPC、PCB、传感器组件生产。
特殊腔体环境：氮气置换腔、小型真空腔体内部静电消除。
洁净等级远高于电晕放电离子设备，零颗粒、零臭氧；
离子平衡稳定，几乎无反向充电风险；
无气流扰动，超薄 / 轻质工件制程不可替代；
维护量极低，不用频繁清洗电极；
支持惰性气体腔体内部使用。
软 X 射线辐射风险：设备自带屏蔽，但需要遵守辐射安全规范，设备外壳不可随意拆除，人员不能长时间直接暴露照射窗口；需要做设备防护评估。
X 射线管属于消耗件，达到寿命周期必须更换，存在耗材成本。
除静电效率随距离衰减明显，距离越远中和速度下降，不能无限拉大工作距离。
设备采购成本高于普通电晕离子风机。
| 对比项 | SXN 系列软 X 射线离子发生器 | 普通电晕离子风机 / 离子棒 |
|---|---|---|
| 离子产生 | 软 X 射线光电离 | 高压放电电离空气 |
| 臭氧 | 0ppm | 产生臭氧 |
| 颗粒污染 | 无，无电极析出 | 放电针氧化析出金属颗粒 |
| 离子平衡 | 固有 ±0V，长期稳定 | 随电极老化漂移，需定期校准 |
| 气流影响 | 无，不需要吹风 | 依靠气流输送离子，会吹动薄膜工件 |
| 维护 | 仅定期更换 X 射线管 | 每周清洁、定期更换放电针 |
| 适用洁净等级 | Class1 无尘室 | Class1000 及以上 |
照射窗口不可遮挡，遮挡会大幅降低除静电效果；
严格控制照射距离，根据产品需求布局照射头，不要超距离使用；
不可拆除设备屏蔽壳体，安装位置避开人员长期停留区域；
利用报警输出接入产线，X 射线管寿命到期及时更换，防止除静电失效。
