
高亮度卤素灯光源装置·高亮度LED光源装置是用于在半导体晶圆及液晶基板加工过程中,针对最耗费人力的最终表面异物、划痕、研磨不均、雾度、滑移等各种缺陷进行宏观观察检测的照明装置。其照度可达太阳光的4倍以上,能够检测出通常情况下容易忽略的微小缺陷。
用途例
晶圆、玻璃基板的检测
灯罩部(螺旋桨风扇型・导流风扇型)
| YP-150I | YP-250I | |
| 照射径 | 30mmφ | 40mmφ |
| 照 度 | 400,000Lx以上 | ← |
| 照射距离 | 140mm | 220mm |
| 光 源 | 二色镜面灯 | ← |
| 灯泡型号 | JCR15V150W(爱司高) | FLC24V250W(欧司朗) |
| 灯泡寿命 | 30~50小时 | ← |
| 色温度 | 3,400K | ← |
| 色调 | 白色 | ← |
| 環境温度 | 0~40℃ | ← |
| 冷却方式 | 强制风冷 | ← |
| 接 続 | 12φ带安装轴 | 20φ带安装轴 |
| 寸 法 | 102(宽)×351(高)×128(深)mm | 122(宽)×394(高)×131(深)mm |
| 重 量 | 约2.65㎏ | 约3.59㎏ |
电源部
| HPS-150(YP-150I专用) | HPS-250(YP-250I专用) | |
| 输入电源 | AC100~240V 50/60Hz | AC100~240V 50/60Hz |
| 功耗 | 约200W | 约350W |
| 点灯方式 | 直流点灯方式 | ← |
| 亮度调节 | 电压调节式 | ← |
| 综合变动率 | 1%MAX(相对于输入,漂移, 温度変動) | ← |
| 環境温度 | 0~40℃ | ← |
| 冷却方式 | 强制风冷 | ← |
| 寸 法 | 134(宽)×78(高)×193(深)mm | 134(宽)×78(高)×253(深)mm |
| 重 量 | 约1.8㎏ | 约2.2㎏ |
灯室部(仅限螺旋桨风扇型)
| YP-250IL | |
| 照射径 | 40mmφ |
| 照 度 | 400,000Lx以上 |
| 照射距离 | 220mm |
| 光 源 | LED |
| LED寿命 | 5,000小时以上 |
| 色调 | 白色 |
| 環境温度 | 0~40℃ |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 接 続 | 20φ带安装轴 |
| 寸 法 | 107(宽)×229(高)×114(深)mm |
| 重 量 | 约2.94kg |
电源部
| LPS-250(YP-250IL专用) | |
| 输入电源 | AC100~240V 50/60Hz |
| 功耗 | 约200W |
| 点灯方式 | 直流点灯方式 |
| 光量调整 | 电流调整式 |
| 综合变化率 | 1%MAX(对输入、漂移、 温度変動) |
| 環境温度 | 0~40℃ |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 寸 法 | 100(W)×117(H)×195(D)mm |
| 重 量 | 约1.65kg |